Module laser couplé à fibre haute puissance 10 W 375 nm

Le module laser couplé à fibre haute puissance 10 W 375 nm : une source de lumière UV de pointe optimisée pour les machines de lithographie avancées, y compris les systèmes d'imagerie directe laser (LDI), les aligneurs sans masque et les équipements de photolithographie à semi-conducteurs. Combinant l'absorption photorésistante supérieure d'une longueur d'onde proche de l'UV de 375 nm, une puissance de sortie élevée de 10 W et une technologie de couplage de fibre de précision, ce module offre une vitesse d'exposition, une résolution et une stabilité inégalées pour la microfabrication de semi-conducteurs, de PCB, de puces LED et de dispositifs microfluidiques.

Principaux avantages pour la précision et l'efficacité de la lithographie

1. Longueur d'onde proche UV de 375 nm : optimisation de la photoréserve pour la modélisation haute résolution

• La lumière proche UV de 375 nm (tolérance de ± 2 nm) offre une efficacité d'absorption 50 à 80 % plus élevée dans les photorésists à ligne g/ligne h par rapport aux lasers violets de 405 nm, permettant une résolution submicronique (jusqu'à 0,5 μm) et des bords de motif plus nets pour la fabrication de semi-conducteurs et de PCB.

• La longueur d'onde se situe dans la fenêtre d'absorption optimale pour la plupart des photorésists commerciaux, minimisant les besoins en énergie d'exposition et réduisant la distorsion du motif induite par la chaleur.

• La largeur de raie spectrale ultra-étroite (≤ 5 nm FWHM) garantit une réponse photorésistante cohérente sur l'ensemble du champ d'exposition, éliminant ainsi les variations de motif induites par le changement de couleur.

2. Sortie haute puissance de 10 W : débit de lithographie accéléré

• La puissance de sortie CW de 10 W via une fibre multimode 105 μm/200 μm (personnalisable) offre une densité d'énergie élevée au niveau du plan d'exposition, réduisant le temps d'exposition de 60 % par rapport aux modules de 5 W pour les lignes de production à grand volume.

• Intégrée à un système de refroidissement par eau, la stabilité de puissance ≤ ± 0,5 % sur 8 heures garantit une exposition uniforme sur de grands substrats, essentielle pour maintenir une qualité de motif constante dans la fabrication par lots.

• La modulation PWM de 0 à 100 % avec un temps de réponse de l'ordre de la microseconde permet une lithographie précise en niveaux de gris et un contrôle dynamique de l'exposition pour les microstructures 3D.

3. Couplage de fibre de précision : intégration flexible et livraison uniforme du faisceau

• Le couplage de fibre à haute efficacité (≥85 %) minimise la perte optique, garantissant une transmission de puissance maximale au système de numérisation de la machine de lithographie.

• Les options de longueur de fibre de 2 à 10 m (fibre de silice de qualité UV avec revêtement antireflet) offrent une intégration flexible dans des chemins optiques de lithographie complexes sans compromettre la qualité du faisceau.

4. Compatibilité du système de contrôle intelligent et de lithographie

• L'interface de communication numérique RS485 permet la surveillance et l'ajustement en temps réel des paramètres de puissance, de température et de modulation, en s'intégrant parfaitement aux contrôleurs des machines de lithographie.

• La conception modulaire avec des connecteurs en fibre amorce standard (FC/PC, SMA905) s'adapte à la plupart des machines de lithographie commerciales, notamment Raith PicoMaster, Heidelberg MLA150 et les systèmes LDI domestiques.